財聯(lián)社1月17日電，中核集團(tuán)1月17日透露，由中核集團(tuán)中國原子能科學(xué)研究院自主研制的我國首臺串列型高能氫離子注入機(jī)（POWER-750H）近日成功出束，核心指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。這標(biāo)志著我國已全面掌握串列型高能氫離子注入機(jī)的全鏈路研發(fā)技術(shù)，攻克了功率半導(dǎo)體制造鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為推動高端制造裝備自主可控、保障產(chǎn)業(yè)鏈安全奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。離子注入機(jī)與光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備并稱為芯片制造“四大核心裝備”，是半導(dǎo)體制造不可或缺的“剛需”設(shè)備。此次高能氫離子注入機(jī)的成功研制，是核技術(shù)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)深度融合的重要成果，將有力提升我國在功率半導(dǎo)體等關(guān)鍵領(lǐng)域的自主保障能力，更為助力“雙碳”目標(biāo)實(shí)現(xiàn)、加快形成新質(zhì)生產(chǎn)力提供強(qiáng)有力技術(shù)支撐。