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2025年11月26日 10:45:17
芯上微裝350nm步進(jìn)光刻機(jī)完成出廠調(diào)試與驗收
《科創(chuàng)板日報》26日訊,據(jù)芯上微裝公眾號消息,公司自主研發(fā)的首臺350nm步進(jìn)光刻機(jī)(AST6200)正式完成出廠調(diào)試與驗收,啟程發(fā)往客戶現(xiàn)場。據(jù)介紹,AST6200光刻機(jī)專為功率、射頻、光電子及Micro LED等先進(jìn)制造場景量身定制。
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