《科創(chuàng)板日報》26日訊，據(jù)芯上微裝公眾號消息，公司自主研發(fā)的首臺350nm步進(jìn)光刻機(jī)（AST6200）正式完成出廠調(diào)試與驗收，啟程發(fā)往客戶現(xiàn)場。據(jù)介紹，AST6200光刻機(jī)專為功率、射頻、光電子及Micro LED等先進(jìn)制造場景量身定制。