《科創(chuàng)板日報》7日訊，ASML全球執(zhí)行副總裁、中國區(qū)總裁沈波在接受《科創(chuàng)板日報》記者采訪時表示，盡管EUV已成為多數(shù)邏輯和存儲關鍵層的光刻技術標準，但DUV仍是芯片成像主力?！皬恼麄€產(chǎn)業(yè)發(fā)展的角度，即使到2030年全球每年晶圓數(shù)曝光將超過9億次時，EUV的占比依然會很小，絕大部分的芯片還是由DUV來生產(chǎn)。芯片市場里面的一小部分是通過EUV生產(chǎn)，絕大部分還是靠DUV生產(chǎn)?！保ㄓ浾?黃心怡）