《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》10月28日訊 隨著鎢價(jià)飆升，六氟化鎢（WF6）供應(yīng)商已經(jīng)向韓國(guó)半導(dǎo)體制造企業(yè)提出大幅漲價(jià)要求。

據(jù)The Elec消息，SK Specialties、Foosung、日本關(guān)東電化（Kanto Denka）等主要WF6生產(chǎn)企業(yè)，近期已向三星電子、SK海力士、東部高科、麥格納等韓國(guó)半導(dǎo)體制造商表示，自明年起供應(yīng)單價(jià)將上調(diào)70%-90%。

一位業(yè)內(nèi)人士表示：“鎢價(jià)在短短五個(gè)月內(nèi)上漲一倍，原料成本壓力顯著增加，這是漲價(jià)的主要原因。日本系氣體企業(yè)還以匯率等因素為由，要求漲價(jià)約90%?！痹撊耸窟€指出，“由于半導(dǎo)體廠商也清楚鎢價(jià)暴漲的現(xiàn)狀，因此大多覺(jué)得可能不得不接受漲價(jià)。”

“WF6價(jià)格暴漲并非暫時(shí)性沖擊，而是供應(yīng)結(jié)構(gòu)變化的直接反映?！绷碛袠I(yè)內(nèi)人士分析本輪漲價(jià)。

作為氟與鎢形成的無(wú)機(jī)化合物，WF6是密度最大的氣體之一。半導(dǎo)體制造中，六氟化鎢主要用于電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué)氣象積淀工業(yè)（CVD）工藝，其可在晶圓表面沉積鎢金屬，填補(bǔ)通道與孔洞，形成芯片內(nèi)的導(dǎo)電連接層，是制作邏輯芯片、DRAM和3D NAND的關(guān)鍵材料。

招商銀行研究院指出，2022年以來(lái)我國(guó)含氟特氣的自主供應(yīng)能力顯著提升，國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到50%。

用量最大的三氟化氮和六氟化鎢方面，國(guó)內(nèi)已有中船特氣、南大光電、昊華科技等企業(yè)陸續(xù)向臺(tái)積電、中芯國(guó)際供貨。