財聯(lián)社9月24日電，半導(dǎo)體設(shè)備股反復(fù)活躍，長川科技、盛美上海漲超10%，京儀裝備、北方華創(chuàng)漲超3%，均創(chuàng)歷史新高，芯源微、華海清科、耐科裝備等跟漲。消息面上，盛美上海在互動平臺表示，9月8日，公司宣布推出首款KrF工藝前道涂膠顯影設(shè)備Ultra Lith KrF。首臺設(shè)備系統(tǒng)已于2025年9月交付中國頭部邏輯晶圓廠客戶。